mlase激光器特点及应用

mlase工业用紧凑型激光器

MLase激光器覆盖波长(193纳米、248纳米、308纳米)，能量范围每脉冲200毫焦耳或脉冲重复率达1000赫兹

MLase的激光器服务于的工业过程。通过模块化设计方法，

波长:193纳米、248纳米(可根据要求提供其他波长:157纳米、308纳米、351纳米)

水冷选项

重复率可达1 kHz

MLase这些激光器的工业应用包括:

光纤布拉格光栅的写入(FBG)

光学检测和计量，如测试微光学器件

激光结构化和划线

陶瓷、金属或塑料等材料的微加工

激光烧蚀/脉冲激光沉积(PLD，ICP-MS)

在用于检查掩模或直接晶片处理的半导体制造中

产品型号：

MLI-500 KrF LC

MLI-500-KrF FBG

MLI-ARF 1000LC

MLI 500 KrF FBG LC

MLI-ARF 1000

MLI 500 KRF

MLI 500 ArF LC

MLI-ArF-200

MLI- 500 ArF

mlase ag是紫外线工业产品提供商，2007年12月由TuiLaser AG的前员工创立以来。

可以提供MLI激光器的产品技术资料，安全技术资料，操作说明，维修手册，工厂能提供原产地证明。

1.MLI 系列设备为工业应用提供具有直接波长的激光器。。由于均匀的光束轮廓和能量稳定性。

2.MLI 系列激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有达 16 mJ 的脉冲能量和1,000 Hz 的重复频率。

3.如果需要，标准设置的激光器可以根据个人需求进行调整。如：激光器可用的波长为 193 nm（气体：ArF 氟化氩）和 248 nm（气体：KrF 氟化氪）。可根据要求提供其他波长如157nm等，也可以提供如功率版本HP

型号：

MLI-200 / 500 / 1000激光器

MLI-500LC / 1000LC激光

应用领域：

工业应用的激光器