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Advanced Energy低频电源分类及应用

发布时间: 2026-04-27  点击次数: 88次

Advanced Energy是全球精密电源转换、测量与控制解决方案的制造者,定位是为关键工业与高科技制程提供高可靠、高精度电力与传感方案。包含射频(RF)电源、中频 / 低频电源、直流 / 脉冲电源

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Advanced产品分类

1. 等离子电源系统(半导体 / 镀膜核心)

面向半导体、光伏、平板显示、玻璃镀膜的等离子制程,提供精准功率与电弧控制。

射频(RF)电源:Cesar、Apex、HFV 系列,频率覆盖kHz–60MHz,用于 PECVD、蚀刻、清洗。

中频 / 低频电源:Paramount、Crystal、PEII 系列,用于 PVD、溅射、镀膜。

直流 / 脉冲电源:Pinnacle、Ascent、MDX 系列,功率500W–200kW,支持脉冲频率2–100kHz,适配反应溅射与金属化。

匹配网络:Navigator、VarioMatch、Navio 数字匹配系统,实现负载精准匹配与快速调谐。

2. AC-DC 电源(工业 / 医疗 / 数据中心)

覆盖低功率到高功率、开放式 / 封闭式 / 模块化 / 机架式,满足医疗、工业、通信合规Advanced Energy。

前端电源:SL Power 系列(如 SLB350、SLB1000)、Evergreen Vento,用于服务器、工业设备、医疗仪器。

可配置 / 模块化:NeoPower、CoolX、LCM 系列,功率密度18W/in³,支持多输出串并联组合,适配定制化需求。

开放式 / 低功率:CPS250-M、AEQ 微型系列,PCB 安装、超小体积,用于空间受限场景。

机架 / 大功率系统:ORv3 Shelf(18kW)、FC1500 电容充电器,用于数据中心、储能、工业大功率负载