Föhrenbach导轨和滑轨用于半导体行业

半导体与微电子制造

PKL 防水防护直线电机导轨、高度滚柱滑轨，用于晶圆搬运平台、芯片检测工位、半导体封装设备，无间隙预紧滚柱结构杜绝微位移偏差，适配无尘车间洁净工况。

（一）Föhrenbach手动燕尾槽滑轨系列（SO/SE/SS/SM/SK/SH）

SO 系列（开放式燕尾滑轨）

基础开放型结构，无端部挡板，安装灵活，可自由加装限位、气缸、微调配件；标准宽度 30–400mm，行程 35–1800mm，通用工装基准滑轨。

SE 系列（带端板燕尾滑轨）

两端配备限位端板，预留安装孔位，可直接装配限位块、千分尺、小型气缸，适合固定行程限位微调工位。

SS 系列（丝杆驱动数显燕尾滑轨）

内置精密梯形丝杆，75mm 及以上规格标配外置数字位置显示器，多角度可视读数，快速精准定位，批量检测工装型号。

SM 系列（千分尺微调燕尾滑轨）

滚花纹千分尺旋钮，标准刻度 0.02mm，75–200 规格可选 0.01mm 刻度，微量微调，光学镜头、显微镜载台用。

SK 系列（十字手摇柄燕尾滑轨）

十字曲柄手摇驱动，300mm 大行程规格加装手轮，适合长行程手动往复调节，焊接工装、检测治具。

SH 系列（刻度手轮燕尾滑轨）

环形刻度手轮，标准分度 0.02mm，75–400 规格可选 0.01mm 刻度，操作顺滑，重复性微调工位。

（二）Föhrenbach手动滚柱轴承滑轨系列（RO/RE/RS/RM/RK/RH/RA）

同尺寸匹配燕尾滑轨安装孔位，可互换装配，预紧 V 型滚柱消除间隙，摩擦阻力更低：

RE/RS：丝杆驱动滚柱滑台，RS 集成数显读数；

RM：千分尺微调滚柱款，高微量定位；

RK/RH：手摇柄 / 刻度手轮长行程滚柱滑轨；

RA：全密封防尘防水特殊密封款，配备毛毡 / 尼龙刮屑板，适用于粉尘、切削液轻度污染环境。

（三）Föhrenbach丝杆驱动电动导轨滑台系列

KBS/KCS 球套导轨滑台

V 型轴支撑滚珠结构，紧凑型高弯矩承载，体积小、抗扭转，小型自动化模组。

PFS/PCS 型材导轨电动滑台

铝合金型材底座，标准钣金防护罩，通用机床、自动检测设备。

MR/MS 重载电动滑台

MS 电动燕尾导轨、MR 电动滚柱导轨，100–400mm 宽重载规格，重型工装、非标专机。

（四）Föhrenbach直线电机精密导轨滑台（PFL/PCL/PKL）

三大防护型号，导轨采用高精度型材导向，底座可选铝合金、铸铁 GG25、钢材 C45：

PFL：风琴伸缩防护罩，防尘通用型，实验室、光学检测主流型号；

PCL：金属钣金封闭式防护罩，防尘防水，自动化产线；

PKL：冷却液防护结构，适配磨削、切削带乳化液工况机床。

精度高 Ultra-Precision plus 等级，重复定位精度 0.5μm。