mlase医学和工业用紧凑型准分子激光器

mlase医学和工业用紧凑型准分子激光器

MLase准分子激光器覆盖波长(193纳米、248纳米、308纳米)，能量范围每脉冲200毫焦耳或脉冲重复率达1000赫兹

MLase的激光器服务于的工业过程。通过模块化设计方法，

波长:193纳米、248纳米(可根据要求提供其他波长:157纳米、308纳米、351纳米)

水冷选项

重复率可达1 kHz

MLase这些准分子激光器的工业应用包括:

光纤布拉格光栅的写入(FBG)

光学检测和计量，如测试微光学器件

激光结构化和划线

陶瓷、金属或塑料等材料的微加工

激光烧蚀/脉冲激光沉积(PLD，ICP-MS)

在用于检查掩模或直接晶片处理的半导体制造中