Product category
mlase ag是紫外线工业产品提供商,2007年12月由TuiLaser AG的前员工创立以来。
可以提供MLI激光器的产品技术资料,安全技术资料,操作说明,维修手册,工厂能提供原产地证明。
1.MLI 系列设备为工业应用提供具有直接波长的准分子激光器。。由于均匀的光束轮廓和能量稳定性。
2.MLI 系列激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有达 16 mJ 的脉冲能量和1,000 Hz 的重复频率。
3.如果需要,标准设置的激光器可以根据个人需求进行调整。如:激光器可用的波长为 193 nm(气体:ArF 氟化氩)和 248 nm(气体:KrF 氟化氪)。可根据要求提供其他波长如157nm等,也可以提供如功率版本HP
型号:
MLI-200 / 500 / 1000激光器
MLI-500LC / 1000LC激光
MLase这些激光器的工业应用包括:
光纤布拉格光栅的写入(FBG)
光学检测和计量,如测试微光学器件
激光结构化和划线
陶瓷、金属或塑料等材料的微加工
激光烧蚀/脉冲激光沉积(PLD,ICP-MS)
在用于检查掩模或直接晶片处理的半导体制造中