Hellma 氟化钙（CaF₂）折射率选型指南

Hellma 氟化钙（CaF₂）折射率

基础折射率定值：

1. 关键波长精准折射率（直接用于光学设计建模）

   
   

2. 
   

2.色散核心参数（决定镜头色差设计）

阿贝数 Vd=95.23，已知光学材料中色散低一档，193nm 光刻物镜消色差选择；

Sellmeier 色散公式由 Hellma 原厂提供，可代入任意波长精确计算折射率，用于 Zemax/CodeV 仿真建模。

不同应用场景折射率成套选型方案

方案 1：193nm ArF 光刻系统

晶向：强制(111)

等级：LD-A

设计折射率：n₁₉₃=1.50143

附加指标：均匀性 1ppm、双折射≤0.5nm/cm、气泡夹杂 1×0.1mm 以内

价值：保证整颗镜片折射率一致，纳米级投影无波前畸变

方案 2：248nm KrF 光刻 / 准分子激光打标

晶向：(100) 可降本

等级：LD-B

折射率：n₂₄₈=1.4708

方案 3：红外测温、中红外真空窗口

晶向：随机 /(100) 均可

等级：LD-D 工业级

折射率按 3~5μm 红外波段取值 1.415 左右

方案 4：科研深紫外干涉仪、光束质量检测

晶向：(111)

等级：LD-A

重点管控：折射率空间均匀性、偏振态带来的等效折射率差